北京博賽德科技有限公司
半導體制程廠區(qū)與設備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案
檢測樣品：生產車間空氣樣品
檢測項目：揮發(fā)性有機物
方案概述：北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產的 BCT-AMC系列，半導體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)， 涵蓋在線監(jiān)測,、實驗室分析,、機臺現場溯源分析等多個場景的,，更多有機物物種的精確 全定量分析,，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數據庫與處置方案庫， 在 AI 技術的加持下,，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
方案概述
在人工智能和高效能運算需求的推動下,，在第四代半導體材料與芯粒技術的發(fā)展下,， 芯片線寬已由 70nm 迅速進入 7nm 以下時代。30nm 以下的生產過程中,，痕量氣態(tài)分 子污染物（AMC）檢測的重要性,，已上升到非常重要的高度。
AMC 監(jiān)測的痕量精準化,、監(jiān)測全面化,、大數據自動分析化，AI 智能管控化理念的引 入,，對降低 AMC 造成的良率沖擊,，起到至關重要的作用。
北京博賽德科技有限公司自主研發(fā)生產的 BCT-AMC系列,，半導體制程環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),， 涵蓋在線監(jiān)測、實驗室分析,、機臺現場溯源分析等多個場景的,，更多有機物物種的精確 全定量分析，分析過程高度自動化與集成化,，配合專用的 AMC 污染數據庫與處置方案庫,， 在 AI 技術的加持下,，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
典型場景
1,、制程點 - 在線自動化 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
生產監(jiān)測點布點在線監(jiān)測：
• 使用超凈 PFA 采樣管進行廠區(qū)布點,，監(jiān)測范圍可達 35000m2~75000m2
• 自動采樣、濃縮,、GC-MS 分析,、云端存儲、AI 自動生成檢測報告,，并帶有超閾報警功能
• 7×24 小時排程自動化監(jiān)測
• 全流程全部件惰性化涂覆,，避免殘留與吸附
• 專用捕集系統(tǒng)與聚焦系統(tǒng)，大幅提升檢出線,，峰形更銳利
2,、疑似點 - 實驗室 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
疑似點手工采樣實驗室分析：
• 系統(tǒng)用于實驗室中，基于捕集能力強,、去除雜質能力強,、抗吸附能力強、進樣精確度高,、各氣路專用,、全流程無冷點、清洗非常干凈等特點,，共同作用,，得到更低的檢出限
• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對樣本進行物質全分析
• 專為半導體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
晶圓石英加熱爐,，加熱揮發(fā)進樣：
• 專為半導體企業(yè)開發(fā)的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質,，及時發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭
3,、工作臺 - 便攜式 AMC（VOCs）精準分析系統(tǒng)
工作臺 - 污染溯源分析：
• 分析快速
單質譜走航模式,，儀器不經過色譜柱直接進入質譜，秒級分析,，實時出具數據,。
• 靈敏度高
針對性溯源，靈敏度更高：單質譜模式,，秒級響應,，實時動態(tài)顯示污染情況， 必要時可篩選離子使用 SIM 模式開展針對性走航,。
膜進樣技術使得樣品進入質譜前可以進行二次富集,，提高靈敏度
• 溯源精準
全新走航模式，深入車間，直指源頭
相對傳統(tǒng)走航設備質量更輕,、抗震性更強,，在傳統(tǒng)走航的基礎上可進一步進入車間，精準溯源至污染產生工藝點位,，幫助企業(yè)實現污染點的治理,。
• 結果準確
雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點分析模式
使用 70eV EI 源 + 四級桿質譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs,，依托標準 NIST 譜庫,，準確定性；國標加持,，結果與實驗室可比,。
• 環(huán)境適用性強
非機械泵真空系統(tǒng)，環(huán)境適用性更強
摒棄高速旋轉組件,，采用非機械真空泵,，解決多維大幅振動中無法運行檢測等問題。
數據結果與檢測譜圖
半導體制程廠區(qū)與設備環(huán)境 AMC 監(jiān)測解決方案介紹完畢,，欲了解更多信息,，請聯(lián)系我們 ！
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